無塵烘箱/干燥箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。

標題：無塵烘箱/干燥箱

產(chǎn)品概述

無塵烘箱/干燥箱產(chǎn)品介紹：
無塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。
產(chǎn)品特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.AFilter20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
產(chǎn)品用途：
無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烘箱/干燥箱產(chǎn)品參數(shù)：
1、箱體結(jié)構(gòu)：
1.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
1.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
1.3箱體材料：外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
1.4內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；
1.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
2、溫控系統(tǒng)
2.1采用日本OMRONE5A型溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS。；
2.2訊號來源：采日制進口CA感應(yīng)棒±0.5%。
2.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
3、完善的安全保護措施：
漏電斷路器
控制線路保險絲裝置
超溫防止保護裝置
電熱過電流保護裝置
馬達過電流保護
機臺異常蜂鳴器警示
逆向防止器
門面安全開關(guān)
4、選購設(shè)備：
4.1可程式溫控器
4.2六點溫度記錄儀
4.3三色指示燈
4.4烘烤架

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